การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม
เซ็นเซอร์วัดความดันแบบแกนซิลิคอนชนิดผลึกเดี่ยว
เซ็นเซอร์วัดความดันแบบแกนซิลิคอนผลึกเดี่ยวเป็นเซ็นเซอร์วัดความดันที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งใช้ซิลิคอนผลึกเดี่ยว (monocrystalline silicon) เป็นองค์ประกอบตรวจจับ เซ็นเซอร์เหล่านี้ถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในงานอุตสาหกรรม การแพทย์ และการบินอวกาศ เนื่องจากมีความแม่นยำ สเถียรภาพ และทนทานต่อปัจจัยสภาพแวดล้อมต่างๆ
คุณสมบัติเด่น:
ความไวสูงและแม่นยำ – ซิลิคอนชนิดผลึกเดี่ยวมอบคุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำสูงในการวัดแรงดัน
ความเสถียรสูงเยี่ยม – ซิลิคอนผลึกเดี่ยวมีฮิสเทอรีซิสต่ำมากและไม่มีการดริฟท์ในระยะยาว ทำให้มีความเสถียรสูงแม้เวลาผ่านไปนานนับปี
ช่วงการทำงานกว้าง – เซ็นเซอร์เหล่านี้สามารถทำงานได้ในอุณหภูมิสุดขั้วและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
การใช้พลังงานต่ำ – โดยทั่วไปแล้ว พวกมันต้องการพลังงานน้อยมาก ทำให้เหมาะสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้แบตเตอรี่
ความต้านทานการกัดกร่อนและความเมื่อยล้า – ความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งของซิลิคอนช่วยเพิ่มความทนทานในสภาวะที่ท้าทาย
หลักการทำงาน:
เซ็นเซอร์ทำงานโดยอาศัยปรากฏการณ์ความต้านทานไฟฟ้าที่เปลี่ยนแปลงตามแรงดันในซิลิคอนผลึกเดี่ยว ขณะที่มีแรงกดมากระทำ แกนซิลิคอนจะเกิดการเสียรูป ทำให้ค่าความต้านทานไฟฟ้าเปลี่ยนแปลงไป จากนั้นจึงแปลงค่าความต้านทานที่เปลี่ยนแปลงนี้เป็นสัญญาณไฟฟ้า ซึ่งจะถูกประมวลผลต่อเพื่อกำหนดค่าความดัน
แอปพลิเคชัน:
ระบบอัตโนมัติในอุตสาหกรรม (เช่น การตรวจสอบแรงดันของของไหล)
อุตสาหกรรมการบินและยานยนต์ (เช่น เซ็นเซอร์วัดแรงดันน้ำมันเชื้อเพลิง)
อุปกรณ์ทางการแพทย์ (เช่น เครื่องวัดความดันโลหิต)
การติดตามตรวจสอบสิ่งแวดล้อม (เช่น สถานีตรวจวัดสภาพอากาศ)
เครื่องมือที่แนะนำ